・非接触で、高さ・深さの測定が可能。
・±0.1μmの高精度測定。
・2000万画素のCMOSセンサ搭載。
・同時に最大100個の対象を測定可能。
・温度センサ搭載、温度補正機能搭載により、周囲環境を気にせず正確な寸法を測定可能。
・非接触で、高さ・深さの測定が可能。
・±0.1μmの高精度測定。
・2000万画素のCMOSセンサ搭載。
・同時に最大100個の対象を測定可能。
・温度センサ搭載、温度補正機能搭載により、周囲環境を気にせず正確な寸法を測定可能。
撮像素子：1型 2000万画素 モノクロCMOS
ディスプレイ：10.4型 LCDモニタ(XGA: 1024 × 768)
受光レンズ：ダブルテレセントリックレンズ
画像測定
視野
広視野測定モード：225 mm × 125 mm
高精度測定モード：206 mm × 106 mm
最小表示単位：0.1 µm
繰り返し精度
視野内(2σ)
広視野測定モード：±0.5 µm
高精度測定モード：±0.1 µm
ステージ移動あり
X・Y軸、XY平面：±0.9 µm
測定精度
視野内(2σ)
広視野測定モード：±2 µm*1
高精度測定モード：±0.7 µm*2
ステージ移動あり
X・Y軸（EUX,MPE、EUY,MPE）：±(1.8 + 0.02 L) µm*3
XY平面（EUXY,MPE）：±(2.8 + 0.02 L) µm*3
高さ測定
繰り返し精度：±2 µm
測定精度(EUZ,MPE)：±(4.8 + 0.04 L) µm*4
照明系
透過：テレセントリック透過照明
落射：4分割マルチアングル照明(電動)
スリットリング(指向性)側射照明(電動)
テレセントリック同軸照明
XYステージ
移動範囲：200 mm × 100 mm(電動)
耐荷重：7 kg
Zステージ：移動範囲：75 mm(電動)
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仕様のテキスト
『SharingFACTORYがユーザーに対して各種サポートをするための対価である「保険料金」の算定の参考にします。(保険料金は出品者が設定するレンタル料金とは別にSharingFACTORYが借り手に請求します。)』
現物確認のテキスト
商品説明のテキスト
発送までの日数のテキスト
配送料負担のテキスト
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（注意）レンタル期間とは使用開始から使用終了までの期間をさします。レンタル申込のタイミングによっては、配送日数等によりレンタル開始日に機器到着が間に合わない可能性があります。予め出品者とチャットでレンタル期間について確認・調整をされることをお勧めします。
（注意）具体的な配送方法等については、予め出品者とチャットで確認・調整をされることをお勧めします。
